濕度發(fā)生器晶圓CVD工藝用

濕度發(fā)生器晶圓CVD工藝用利用高精度恒流泵定量供給液體水，通過(guò)控制液態(tài)水相變，氣態(tài)水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過(guò)恒定溫度控制形成不同溫度下的相對(duì)或絕對(duì)濕氣。通過(guò)精密恒流泵加入精密蒸發(fā)器中，去離子水的流量連續(xù)可調(diào)，精密蒸發(fā)器將液態(tài)水100%蒸發(fā)，并且保證蒸汽流量波動(dòng)小于2%

技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

• 自主研發(fā)的可蒸發(fā)相變技術(shù)

此技術(shù)提供成分濃度穩(wěn)定（波動(dòng)小于±1%）且可連續(xù)調(diào)控的所需氣體。特殊氣化結(jié)構(gòu)，大幅抑制汽化不均勻而導(dǎo)致的脈動(dòng)。

• 自主研發(fā)氣化模塊
  

此模塊小巧，避免了傳統(tǒng)加熱爐汽化電轉(zhuǎn)化效率低、不穩(wěn)定汽化等問(wèn)題。

• 自主研發(fā)無(wú)死體積進(jìn)樣技術(shù)

由于系統(tǒng)中傳輸通道的存在，現(xiàn)有測(cè)試中均存在“死體積"現(xiàn)象，有一部分殘留在傳輸通道中，導(dǎo)致發(fā)生總量出現(xiàn)偏差。

“死體積"是目前測(cè)試行業(yè)中未得到很好解決的一個(gè)難題。本公司自研無(wú)死體積進(jìn)樣技術(shù)，在不影響傳輸通道設(shè)計(jì)的前提下，通過(guò)輔助進(jìn)樣實(shí)現(xiàn)全部流體進(jìn)樣無(wú)殘留。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 快速響應(yīng)，操作簡(jiǎn)單

• 微通道液膜結(jié)構(gòu)

• 濕度平穩(wěn)連續(xù)，波動(dòng)小且精確度高

• 溫濕度傳感器，可選配國(guó)產(chǎn)和進(jìn)口

• 內(nèi)部器件材質(zhì)SUS304/316L，耐高溫耐腐蝕

• 進(jìn)樣濕，無(wú)殘留

• 濕氣出口采用加熱保溫裝置，不冷凝，出氣穩(wěn)定

• PID智能控溫，運(yùn)行狀態(tài)直觀顯示

• 進(jìn)液流量、溫度等參數(shù)可設(shè)置，流量/溫度精確可控

• 可支持實(shí)時(shí)在線數(shù)據(jù)的讀取與保存

• 可集聯(lián)與遠(yuǎn)程

• 壽命長(zhǎng)，正常使用5年以上，過(guò)程中無(wú)任何易損耗材需更換

• 可按需求定制