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碘蒸汽發(fā)生器采用梯度熱升華耦合氣態(tài)分流技術，在密閉聚四氟反應腔內(nèi)通過多級加熱模塊將碘晶體逐步升華，配合PID溫控系統(tǒng)確保碘蒸汽生成速率恒定；雙通道質(zhì)量流量控制器（MFC）可實時監(jiān)測并調(diào)節(jié)輸出氣體濃度，使碘蒸汽純度高達99.95%。

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VG-01 滲透腔氣體發(fā)生器通過精密柱塞泵和可控相變汽化器精確控制甲醛等多路VOC發(fā)生量的氣體發(fā)生裝置，通過質(zhì)量流量劑控制污染物有機氣體濃度可控，溫度可調(diào)。

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VOC揮發(fā)性有機物發(fā)生裝置 實驗室設備由恒定計量進液泵、質(zhì)量流量計配氣發(fā)生器主體、預熱混合器等部分構成，由精密泵準確控制進液量，發(fā)生器控制VOCs氣化及蒸汽穩(wěn)定性。