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活性試驗水蒸氣發(fā)生器分為小試裝置和大中試裝置。小試裝置主要作為實驗室設(shè)備使用，其液體水流量達10-80g/min。大中試裝置流量大，主要應(yīng)用于量產(chǎn)，其液體水流量達12-48kg/h。

實驗室蒸汽發(fā)生器通過精密計量泵控制進液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。自主研發(fā)的相變汽化模塊優(yōu)勢：蒸發(fā)混合穩(wěn)定并有非常寬的蒸發(fā)范圍。

干法去膠水蒸汽發(fā)生器通過精密計量泵控制進液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。自主研發(fā)的相變汽化模塊優(yōu)勢：蒸發(fā)混合穩(wěn)定并有非常寬的蒸發(fā)范圍。

半導體蒸汽發(fā)生器蒸汽出口溫度可到1200℃，液態(tài)水蒸發(fā)量達1000mL/min。集精準控制、高效能、輕量化與一體，通過精密計量泵控制進液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。

氣氛爐水蒸氣發(fā)生器出口溫度可調(diào)節(jié)范圍廣，100~1000℃，蒸氣流量精度高，可達±1%，蒸氣氣態(tài)流量可從1mL/min~1000L/min可選，液態(tài)水蒸發(fā)量可從0.5uL/min~1000mL/min可選。

潔凈蒸汽發(fā)生器內(nèi)置高效過濾器，實現(xiàn)了蒸汽品質(zhì)的跨越式提升，適配對雜質(zhì)零容忍的精密生產(chǎn)與科研場景。